产品介绍
本纯化器采用WX流程对氢气进行纯化,原料氢气进入纯化器后,经过常温吸附流程可初步将H
2O, O
2,CO
2,CO脱除至10ppb以下,床层吸附饱和后,进行再生,常温吸附反应器为一开一备设计,可实现连续工作。再经过高温吸附流程将氢气中的H
2O,O
2,CO,CO
2,CH
4,N
2等杂质脱除至1ppb以下。
WX流程
工艺流程
吸气脱除CO
2、O
2、N
2、CO、THC、H
2O;
吸附剂脱除O
2、CO
2、H
2O
吸附反应器吸附饱和后通氢加热再生,双塔切换,连续供气
吸气反应器吸附饱和后无法再生、整体更换
应用领域
半导体、LED、激光、太阳能光伏行业
光纤行业
集成电路制造行业
高纯气体分析
产品特点
1.超高精度净化
★ 专利催化剂技术,化学吸附双效协同,杂质深度≤1 ppb。
2.超长寿命设计
★ 采用国际知名品牌元件;Swagelok全自动轨道焊接 ,采用先进的防爆策略,保证产品安全、稳定运行。
★ 催化剂寿命≥3年 | 整机运行≥15年
3.强抗波动性能
★ 按协议值120%冗余设计,工况波动下气态指标稳定输出。
4.抗意外能力强
纯化装置具有断电保持功能。
5.智慧物联运维
★ 全流程自动运行+远程监控
★ 故障预警联动+运行数据追溯系统
技术参数