产品介绍
本纯化器采用OW流程对氮气进行纯化,原料氮气进入纯化器后,经过O(催化氧化)流程,利用高温贵金属催化剂特性,可将氮气中的杂质H
2,CO,CH4等杂质转化为H
2O,CO
2,再经过W(常温吸附反应器),可有效的吸附O
2 , H
2O, CO
2等杂质,床层吸附饱和后,通入氢气进行再生。常温吸附反应器为一开一备设计,可实现连续工作。
OW流程
工艺流程
催化剂脱除O
2、H
2、CO、THC;
吸附剂脱除O
2、CO
2、H
2O
吸附反应器吸附饱和后通氢加热再生,双塔切换,连续供气
应用领域
半导体、LED、激光、太阳能光伏行业
光纤行业
集成电路制造行业
高纯气体分析
产品特点
1.超高精度净化
★ 专利催化剂技术,化学吸附双效协同,杂质深度≤1 ppb。
2.高稳定性设计
★ 采用国际知名品牌元件;Swagelok全自动轨道焊接 ,采用先进的防爆策略,确保装置安全、稳定运行
3.强抗波动性能
★ 按协议值120%冗余设计,工况波动下气态指标稳定输出。
4.抗意外能力强
纯化装置具有断电保持功能。
5.智慧物联运维
★ 全流程自动运行+远程监控
★ 故障预警联动+运行数据追溯系统
技术参数